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and (Available 1990 - 2013)
  • 1 微机电系统麦克风  
  • [发明专利] CN201710893397.5_  深圳市芯易邦电子有限公司_ 2017-9-26
  • 本发明公开一种微机电系统麦克风,该微机电系统麦克风包括:上层板,上层板设有进音孔,进音孔的内侧壁设有第一金属层,第一金属层延伸至上层板的上表面;中层板,中层板具有贯穿其上、下表面的容纳空间,容纳空间的内侧壁设有...
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  • 2 立体螺旋式全流程生产工作站  
  • [实用新型] CN201721774548.7_  合肥芯福传感器技术有限公司_ 2017-12-19
  • 本实用新型提供一种立体螺旋式全流程生产工作站,包括工艺腔室模块,包括多个工艺腔室,用于对晶圆进行工艺处理;传片模块,包括自动抓取设备和纵向设置的螺旋导轨,用于传递和取放晶圆;其中,所述多个工艺腔室围绕螺旋导轨设...
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  • 3 一种微机电组件的封装构造  
  • [发明专利] CN201710805471.3_  电子科技大学中山学院_ 2017-9-8
  • 本发明提供一种微机电组件的封装构造,包括活塞、推拉杆、圆筒、单向阀一、排气管、进气管、单向阀二、凹槽、插柱、弹性片、铜环、接触片以及盲孔,所述推拉杆左端安装在活塞右端面中间位置,所述进气管右端安装在圆筒左端面下侧,所...
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  • 4 一种微流控芯片数控加工仪  
  • [发明专利] CN201810511940.5_  辽宁工业大学_ 2018-5-25
  • 本发明公开了一种微流控芯片数控加工仪,包括加工台、滑轨、滑块、升降电机、丝杆、升降台、驱动电机和铣刻刀具,所述升降台上分别开有内螺纹孔和光滑通孔,升降台通过螺纹孔螺纹安装在丝杆上所述升降台右端固定安装有驱动电机...
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  • 5 一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构  
  • [发明专利] CN201710756992.4_  山东大学_ 2017-8-29
  • 本发明公开了一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构,包括基体,基体包括中间反光镜,在中间反光镜的外侧设有两个环扇形的第一压电梁基体,在第一压电梁基体的外圈设有两个环扇形的第二压电梁基体;在第一压电梁基体的上...
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  • 6 一种MEMS器件湿法刻蚀工艺  
  • [发明专利] CN201710717374.9_  叶军_ 2017-8-21
  • 本发明公开一种MEMS器件湿法刻蚀工艺,包括如下步骤:刻蚀衬底以形成沟槽,采用等离子气体进行钝化,在沟槽的表面上形成聚合物的钝化层;去除沟槽底面上的钝化层,对所述硅衬底的下表面进行机械抛光,在所述硅衬底的下表面形...
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  • 7 水平发散型纳米热电能量收集器  
  • [发明专利] CN201810208103.5_  东南大学_ 2018-3-14
  • 本发明的水平发散型纳米热电能量收集器,主要应用于收集计算机中央处理器的热能,实现对其周围小功耗元器件的供电。水平发散型纳米热电能量收集器收集到的计算机中央处理器的热能通过塞贝克效应转换成电能,然后通过DC‑DC...
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  • 8 复杂腔体内表面微纳结构的自适应随形制造方法  
  • [发明专利] CN201710710320.X_  西安交通大学_ 2017-8-18
  • 复杂腔体内表面微纳结构的自适应随形制造方法,首先,将微纳结构制备在平面衬底上,再将平面衬底上的微纳结构复制到弹性体薄膜上,并在弹性体薄膜上制作气道,得到带有微纳结构的弹性体薄膜;然后,将弹性体薄膜制作成球状的...
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  • 9 一种基于纳米光栅的单片集成陀螺仪及其加工方法  
  • [发明专利] CN201810530684.4_  东南大学_ 2018-5-29
  • 本发明公开一种基于纳米光栅的单片集成陀螺仪及其加工方法,陀螺仪包括集成光源、带纳米光栅微谐振器和集成光电转换器;集成光源上对称设有第一反射面,两个第一反射面外侧分别设有光源,相邻两个第一发射面和光源之间设有...
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