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and (Available 1990 - 2013)
  • 1 微机电系统麦克风  
  • [发明专利] CN201710893397.5_  深圳市芯易邦电子有限公司_ 2017-9-26
  • 本发明公开一种微机电系统麦克风,该微机电系统麦克风包括:上层板,上层板设有进音孔,进音孔的内侧壁设有第一金属层,第一金属层延伸至上层板的上表面;中层板,中层板具有贯穿其上、下表面的容纳空间,容纳空间的内侧壁设有...
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  • 2 一种六边形有序垂直耦合等离子体阵列及其制备方法和应用  
  • [发明专利] CN201810175656.5_  肇庆市华师大光电产业研究院_ 2018-3-2
  • 本发明涉及一种六边形有序垂直耦合等离子体阵列及其制备方法和应用,所述方法如下:S1:选用双面抛光的未掺杂硅片/板作为衬底,组装聚苯乙烯颗粒,然后将聚苯乙烯颗粒转移至衬底上,在氧气气氛下进行等离子刻蚀;S2:在S1所述...
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  • 3 一种微机电组件的封装构造  
  • [发明专利] CN201710805471.3_  电子科技大学中山学院_ 2017-9-8
  • 本发明提供一种微机电组件的封装构造,包括活塞、推拉杆、圆筒、单向阀一、排气管、进气管、单向阀二、凹槽、插柱、弹性片、铜环、接触片以及盲孔,所述推拉杆左端安装在活塞右端面中间位置,所述进气管右端安装在圆筒左端面下侧,所...
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  • 4 用于制造多层MEMS构件的方法和相应的多层MEMS构件  
  • [发明专利] CN201680078844.5_  罗伯特·博世有限公司_ 2016-11-30
  • 本发明实现一种用于制造多层MEMS构件的方法和一种相应的多层MEMS构件。所述方法包括以下步骤:提供多层衬底(12、3;1a、2、3),该多层衬底具有单晶载体层(1;1a)、带有正面(V)和背面(R)的单晶功能层(3)和位于背面(R)与载体层(1...
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  • 5 一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构  
  • [发明专利] CN201710756992.4_  山东大学_ 2017-8-29
  • 本发明公开了一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构,包括基体,基体包括中间反光镜,在中间反光镜的外侧设有两个环扇形的第一压电梁基体,在第一压电梁基体的外圈设有两个环扇形的第二压电梁基体;在第一压电梁基体的上...
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  • 6 一种MEMS器件湿法刻蚀工艺  
  • [发明专利] CN201710717374.9_  叶军_ 2017-8-21
  • 本发明公开一种MEMS器件湿法刻蚀工艺,包括如下步骤:刻蚀衬底以形成沟槽,采用等离子气体进行钝化,在沟槽的表面上形成聚合物的钝化层;去除沟槽底面上的钝化层,对所述硅衬底的下表面进行机械抛光,在所述硅衬底的下表面形...
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  • 7 用于惯性传感器的微机械弹簧  
  • [发明专利] CN201780006656.6_  罗伯特·博世有限公司_ 2017-1-11
  • 本发明涉及一种用于惯性传感器的微机械弹簧(10),具有:‑第一和第二弹簧元件(1、2),所述弹簧元件相对彼此平行地布置并且锚固在所述惯性传感器的锚固元件(20)上;和‑布置在所述两个弹簧元件(1、2)之间的、锚固在所述锚固元件...
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  • 8 复杂腔体内表面微纳结构的自适应随形制造方法  
  • [发明专利] CN201710710320.X_  西安交通大学_ 2017-8-18
  • 复杂腔体内表面微纳结构的自适应随形制造方法,首先,将微纳结构制备在平面衬底上,再将平面衬底上的微纳结构复制到弹性体薄膜上,并在弹性体薄膜上制作气道,得到带有微纳结构的弹性体薄膜;然后,将弹性体薄膜制作成球状的...
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  • 9 氧化锌薄膜及其制备方法和应用  
  • [发明专利] CN201810195059.9_  淮阴工学院_ 2018-3-9
  • 本发明涉及微纳材料制备技术领域,公开了一种氧化锌薄膜及其制备方法和应用,该薄膜上具有至少一个纳米环状周期性结构的图案,各纳米环状周期性结构中均具有若干纳米环;各纳米环的线宽均为40~200 nm,槽深均为40~80 nm;周...
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