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and (Available 1990 - 2013)
  • 1 一种特氟龙快速微加工装置及方法  
  • [发明专利] CN201710548247.0_  上海应用技术大学_ 2017-7-6
  • 本发明公开了一种新的特氟龙加工装置及工艺,包括同步辐射光源、喷嘴、光束整形器、加热板,其中:同步辐射光源位于喷嘴前端,光束整形器位于加热板的中心位置,加热板上的电阻丝采用钨电阻丝,加热板基片采用玻璃材料,能使加热...
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  • 2 一种MEMS芯片与ASIC的封装结构及封装方法  
  • [发明专利] CN201710546745.1_  苏州晶方半导体科技股份有限公司_ 2017-7-6
  • 本发明公开了一种MEMS芯片与ASIC芯片集成封装的封装结构及封装方法,所述封装结构包括:MEMS芯片,所述MEMS芯片具有相对正面以及背面;ASIC芯片,所述ASIC芯片具有相对正面以及背面;所述ASIC芯片的正面与所述MEMS芯片的背面...
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  • 3 一种自供能气体传感器及其制备方法  
  • [发明专利] CN201710492171.4_  电子科技大学_ 2017-6-26
  • 本发明提供了一种自供能传感器及其制备方法,属于传感器技术领域。本发明结构其结构由下至上依次包括层叠的多孔基片、第一银纳米线薄膜、P型多孔导电聚合物、多孔热释电薄膜、N型多孔导电聚合物和第二银纳米线薄膜。本发明自...
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  • 5 多方向的压电超声发生器及其制备方法  
  • [发明专利] CN201710468911.0_  南京邮电大学_ 2017-6-20
  • 本发明公开了一种多方向的压电超声发生器及其制备方法,是一种结构简单,操作容易,方向性可调,且便于集成的超声发生器及其制备方法。该超声发生器以硅为衬底,在衬底上设有三角形桥墩、三个独立的MEMS悬臂梁、压电材料、MEMS...
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  • 6 一种中空微通道结构的制备方法  
  • [发明专利] CN201710462649.9_  鲁东大学_ 2017-6-19
  • 本发明公开了一种中空微通道结构的制备方法,具体涉及微细加工领域。该方法采用光刻技术和热回流技术制作微米尺寸的微通道母版,并利用此母板制作PDMS柔性模板,获得的柔性模板具有与微通道母版互补的图案结构,将PDMS柔性...
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  • 7 一种膜片结构及其制作方法  
  • [发明专利] CN201710444180.6_  中国科学院上海微系统与信息技术研究所_ 2017-6-13
  • 本发明提供一种膜片结构,所述膜片结构至少包括悬空支撑在单晶硅片上方的膜片和沿所述膜片外围排列的释放孔。本发明另提供一种基于上述膜片结构的压力敏感膜结构,所述压力敏感膜结构包括梁‑岛结构、外框、薄膜、沿外框排布...
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  • 9 一种金属/聚合物复合三维微纳米结构的制备方法  
  • [发明专利] CN201710417321.5_  北京航空航天大学_ 2017-6-6
  • 本发明公开了一种金属/聚合物复合三维微纳米结构的制备方法,属于微纳米加工技术领域。所述方法包括在基底A上旋涂牺牲层,在牺牲层上旋涂非水溶性聚合物薄膜,形成双层聚合物薄膜;在双层聚合物薄膜的非水溶性聚合物薄膜上...
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  • 10 一种纳米位移执行器  
  • [发明专利] CN201710413626.9_  东南大学_ 2017-6-5
  • 本发明是一种纳米位移执行器,在衬底(3)的上表面依次设有氧化石墨烯薄膜(2)、薄膜上方承载面(1)构成一个位移传动的承载体,其中薄膜上方承载面作为位移传动的承载面;在所述位移传动的承载体的两端分别设有左密封腔体的密...
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